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高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列

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高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列

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概要
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概要

SEC-8000F/D/E 系列, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實(shí)現(xiàn)超潔凈狀況下百萬(wàn)分之一級(jí)別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體制程需求。而HORIBA集團(tuán)也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。