CX-3/160粗糙度輪廓儀技術(shù)參數(shù)：
A/粗糙度測量
1、評定參數(shù)：Ra Ry Rz Rt Rq Rp Rv Rmax S Sm tp
2、測量范圍：Ra0.01μm-10μm
3、觸針位移：±500μm
4、分 辯 率：0.001μm
5、示值誤差：≤3%±5nm
B/輪廓測量
1、使用范圍：X:0-160mm Z:0-550mm
2、測量范圍：X:0-160mm Z:±6mm(可選配±10mm或±15mm）
3、分 辯 率：0.001μm、0.1μm
4、半經(jīng)誤差: 0.1% - 0.8%
