考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
 內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄 | MX51主要操作部件集中在前面,操作人員易于操作,即使長(zhǎng)時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。專用150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器,可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。 |
 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 | 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時(shí)間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī),在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。 |
鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容,可按照用途選用。另外,波像差控制帶來(lái)的高品質(zhì),忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等,UIS2物鏡無(wú)論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
觀察影像實(shí)例
 明視場(chǎng)觀察 |  暗視場(chǎng)觀察 |  微分干涉觀察 |  熒光觀察 |
豐富的產(chǎn)品陣容,可按需選擇
MPLAPON 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡
MPLFLN 平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLN 平場(chǎng)消色差透鏡
MPLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)消色差透鏡
SLMPLN 工作距離平場(chǎng)消色差透鏡
LCPLFLN-LCD 液晶長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
軟件方案
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元
由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,和紅外線用超廣角三目鏡筒等,備有各種對(duì)應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
 近紅外線觀察單元 |  近紅外線觀察 |
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
 熒光鏡單元 |  熒光觀察 |
透射照明單元
 透射照明單元 |
工業(yè)檢測(cè)顯微鏡 MX51 規(guī)格 |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正) |
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 |
反射/透射 | 反射/透射 |
照明裝置 | 明暗視場(chǎng)反射照明管(明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光) |
通用反射照明管(明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光) |
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
透射照明 | 纖維光導(dǎo) |
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) |
行程 | 32 mm |
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm |
樣本高度 | 30 mm |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 |
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 |
明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 |
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 |
手動(dòng)式 | 明視場(chǎng)5孔 |
明視場(chǎng)微分干涉6孔 |
明視場(chǎng)微分干涉中心輸出6孔 |
明視場(chǎng)微分干涉7孔 |
明暗視場(chǎng)5孔 |
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 |
明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 |
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 |
載物臺(tái) | 行程 | 6×6英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm (透射照明范圍100×100 mm) |
4×4英寸右下(左下)手柄: 100(X)×105(Y)mm?。ㄍ干湔彰鞣秶?6×96 mm) |
觀察筒 | 廣角視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)22) | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 |
超寬視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)26.5) | 倒置 | 三目觀察筒 |
正像 | 傾斜三目觀察筒 |
附件單元 | IR單元/自動(dòng)裝載 |
外形尺寸 | 430(W)×591(D)×495(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合) |
重量 | 26 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |